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      氣相沉積爐

      cjl

      氧化亞硅真空氣相爐
      氧化亞硅真空氣相爐
      主要特點 :
      利用真空蒸鍍方式生產(chǎn)硅的氧化物; 適用于氧化亞硅等可氣相沉積材料大批量生產(chǎn);溫差控制精度高,高溫高真空;具備高真空升華,反應(yīng),脫脂,脫水,氣相沉積材料自動研磨刮料,爐內(nèi)收集等特殊工藝能力。
      使用行業(yè) :
      • 產(chǎn)品詳情
      • 產(chǎn)品規(guī)格
      • 使用步驟
      • 8704874106_686323553.jpg

        設(shè)備用途:    

            利用真空蒸鍍方式生產(chǎn)硅的氧化物;

            適用于氧化亞硅等可氣相沉積材料大批量生產(chǎn);溫差控制精度高,高溫高真空;具備高真空升華,反應(yīng),脫脂,脫水,氣相沉積材料自動研磨刮料,爐內(nèi)收集等特殊工藝能力。

             

             設(shè)備特點:

              一次裝料量大, 生產(chǎn)效率高。
              全程全封閉全自動化作業(yè),避免粉塵飛揚,生產(chǎn)現(xiàn)場環(huán)境整潔干凈。
              溫度控制1500度以內(nèi),升溫速率快。
              可以在真空度下保持穩(wěn)定運行工作。

         

              設(shè)備參數(shù):

        QQ圖片20240513154551.png

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